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Standard Cubic Centimeter per Minute (sccm) 표준상태(섭씨 0도, 1기압)에서 분당 유입되는 유체의 양에 대한 단위.[1] Actual cubic centimeters per minute (accm) 실제 실험에서 분당 유입되는 유체의 부피 기체의 부피가 온도나 압력에 의해 달라지기 때문에 sccm을 사용...